本實用新型公開了一種晶圓化學(xué)鎳自動添加控制系統(tǒng),包括取樣冷卻預(yù)處理單元,取樣測量單元、電器控制單元以及定量添加單元,通過取樣泵將化學(xué)鍍鎳槽中的藥液泵入取樣冷卻預(yù)處理系統(tǒng)進行冷卻,使得抽取的藥液能夠維持在設(shè)定溫度范圍內(nèi)進入pH值檢測裝置以及鎳濃度檢測裝置,以實時反饋pH值和鎳濃度值,電器控制單元能夠根據(jù)反饋的pH值和鎳濃度值實時控制計量泵向化學(xué)鍍鎳槽內(nèi)泵入添加劑,以達到化學(xué)鍍鎳過程中藥液消耗成分的及時補充。
聲明:
“晶圓化學(xué)鎳自動添加控制系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)