柔軟且可修整的化學(xué)機(jī)械窗口拋光墊.本發(fā)明提供了一種化學(xué)機(jī)械拋光墊,其包括:拋光層、塞入性終點(diǎn)檢測窗口塊體、剛性層以及將所述拋光層與剛性層粘結(jié)的熱熔粘合劑,其中所述拋光層包含以下組分的反應(yīng)產(chǎn)物,所述組分包括:多官能異氰酸酯和固化劑包裝,所述固化劑包裝包含胺引發(fā)的多元醇固化劑和高分子量多元醇固化劑,其中,所述拋光層的密度大于0.6克/厘米3,肖氏D硬度為5-40,斷裂伸長率為100-450%,切割速率為25-150微米/小時(shí);以及其中所述拋光層具有適合用來對基材進(jìn)行拋光的拋光表面。本發(fā)明還提供了制備和使用化學(xué)機(jī)械拋光墊的方法。
聲明:
“柔軟且可修整的化學(xué)機(jī)械窗口拋光墊” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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