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常壓化學氣相沉積裝置

1080   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-19 06:57:23
為克服現(xiàn)有技術中常壓化學氣相沉積裝置在運行過程中，只能在化學氣相沉積結束后檢查晶圓才能察覺到異常，不能及時發(fā)覺異常，也無法及時采取保護措施的問題，本實用新型提供了一種常壓化學氣相沉積裝置，其包括一報警保護模塊，所述報警保護模塊包括可編程控制器、信號檢測單元、報警單元；所述信號檢測單元連接與所述可編程控制器的輸入接口相連；所述報警單元與可編程控制器的輸出接口連接。本實用新型實施例提供的常壓化學氣相沉積裝置，由于在其上集成了報警保護模塊，可以檢測氣體噴嘴的噴氣狀態(tài)及沉積尾氣排放口的排氣狀態(tài)。當出現(xiàn)異常時，可編程控制器可及時通過報警單元進行警示，提醒操作人員及時采取措施。
聲明：
“常壓化學氣相沉積裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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