一種化學機械拋光設備及其預熱方法,所述化學機械拋光設備包括:拋光墊;去離子水供應管路;拋光液供應管路;拋光墊修正器,還包括:加熱裝置,對流入所述去離子水供應管路中的去離子水進行加熱;溫度傳感器,靠近所述拋光墊以檢測所述拋光墊的溫度;預熱控制系統(tǒng),與所述溫度傳感器相連,用于控制所述去離子水供應管路向所述拋光墊噴淋經(jīng)加熱的去離子水,在所述溫度傳感器檢測到的溫度達到或高于預設溫度時,關(guān)閉所述去離子水供應管路,控制所述拋光液供應管路向所述拋光墊噴淋拋光液,同時啟動所述拋光墊修正器對所述拋光墊進行打磨。本發(fā)明能夠降低化學機械拋光設備在機臺預熱過程中對各種耗材的損耗,降低生產(chǎn)成本。
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