一種半導(dǎo)體制造系統(tǒng),包括:化學(xué)機(jī)械研磨系統(tǒng);卡匣保持區(qū)域,卡匣保持區(qū)域由壁包圍并具有門,門可由操作員打開以將一或多個(gè)卡匣放置入卡匣保持區(qū)域;機(jī)器人,機(jī)器人經(jīng)配置以在卡匣保持區(qū)域中的卡匣和化學(xué)機(jī)械研磨系統(tǒng)之間傳送基板;計(jì)算機(jī)控制器,計(jì)算機(jī)控制器經(jīng)配置以使機(jī)器人移動(dòng)到起始位置(home?position);斷路器,斷路器在通向機(jī)器人的電源線路中;門傳感器,門傳感器用于檢測(cè)門是否打開;機(jī)器人存在傳感器,用于檢測(cè)機(jī)器人是否處于起始位置;和控制電路,控制電路經(jīng)配置以從門傳感器和機(jī)器人存在傳感器接收信號(hào),并且若門是打開的且機(jī)器人不處于起始位置,則使斷路器切斷對(duì)機(jī)器人的供電。
聲明:
“有機(jī)器人存取卡匣的化學(xué)機(jī)械研磨工具” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)