本發(fā)明屬于檢測型傳感器領(lǐng)域,具體為一種具有檢測功能的MEMS傳感器及檢測系統(tǒng),MEMS傳感器為包含多個(gè)傳感器單元的傳感器陣列,每個(gè)傳感器單元表面涂覆化學(xué)或生物分子等生化材料形成具有檢測待檢測物質(zhì)的敏感膜層,敏感膜層可以特異性結(jié)合待檢測物質(zhì),當(dāng)其與待檢測物質(zhì)結(jié)合時(shí)會(huì)產(chǎn)生顏色變化,后續(xù)通過成像來觀察該變化,實(shí)現(xiàn)對(duì)待檢測物質(zhì)的實(shí)時(shí)快速、無標(biāo)記檢測,具有良好的應(yīng)用前景。
聲明:
“具有檢測功能的MEMS傳感器及檢測系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)