本發(fā)明公開了一種化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)N2加濕裝置的系統(tǒng)，包括化學(xué)罐和加濕罐，所述化學(xué)罐位于加濕罐的一側(cè)，所述化學(xué)罐和加濕罐的頂部均連通有若干連接結(jié)構(gòu)，所述加濕罐的頂部從左至右依次通過連接結(jié)構(gòu)連通有氮?dú)膺M(jìn)管、去離子水進(jìn)管和氮?dú)膺B接管。本發(fā)明通過在氮?dú)夤?yīng)系統(tǒng)內(nèi)部增加氮?dú)饧訚衿餮b置，在氮?dú)庾⑷牖瘜W(xué)罐之前，使氮?dú)獬浞旨訚?，避免吸收化學(xué)罐內(nèi)部的水分，導(dǎo)致濃度變化，該化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)N2加濕裝置的系統(tǒng)具備實(shí)現(xiàn)氮?dú)庾⑷牖瘜W(xué)罐保持壓力平衡的同時，且不影響化學(xué)罐藥液的濃度的優(yōu)點(diǎn)，在實(shí)際使用過程中，其結(jié)構(gòu)簡單，且密封性能好，并且具備高低水位檢測功能，能夠?qū)崿F(xiàn)自動化添加去離子水，實(shí)現(xiàn)全自動運(yùn)轉(zhuǎn)，節(jié)約了人力物力。