本發(fā)明提供一種修復(fù)晶圓鎢連接層表面亞穩(wěn)態(tài)化學(xué)鍵的方法,包括以下步驟:將離子溶液和表面上具有亞穩(wěn)態(tài)化學(xué)鍵的晶圓相接觸,使離子溶液中的離子吸附到晶圓表面的亞穩(wěn)態(tài)化學(xué)鍵上。本提供的方法可以應(yīng)用于修復(fù)鎢連接層表面由于電子束缺陷掃描儀掃描產(chǎn)生的亞穩(wěn)態(tài)化學(xué)鍵,從而可以應(yīng)用常規(guī)的清洗手段(去離子水清洗或刷洗等)去除做過在線失效分析引入的顆粒缺陷,避免其對良率造成的損失。
聲明:
“修復(fù)晶圓鎢連接層表面亞穩(wěn)態(tài)化學(xué)鍵的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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