描述了用于確定化學(xué)元素濃度和控制半導(dǎo)體工藝的樣品的自動采樣系統(tǒng)和方法。一個系統(tǒng)的實施例包括被配置為在第一位置收集磷酸樣品的遠(yuǎn)程采樣系統(tǒng),所述遠(yuǎn)程采樣系統(tǒng)包括遠(yuǎn)程閥,所述遠(yuǎn)程閥具有與其耦合的保持環(huán);以及被配置為用于定位在遠(yuǎn)離所述第一位置的第二位置的分析系統(tǒng),所述分析系統(tǒng)經(jīng)由輸送管線耦合到遠(yuǎn)程閥,所述分析系統(tǒng)包括被配置為確定磷酸樣品的一個或多個成分濃度的分析設(shè)備,并且包括被配置為將樣品從保持環(huán)引入輸送管線以利用分析設(shè)備進行分析的第二位置處的樣品泵。
聲明:
“用于確定化學(xué)元素濃度并控制半導(dǎo)體工藝的熱磷酸的自動采樣” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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