本實(shí)用新型公開(kāi)一種半導(dǎo)體清洗設(shè)備化學(xué)藥液加熱器,包括由內(nèi)層管和外層管組成的加熱管,安裝在內(nèi)層管中的加熱絲,用于密封加熱管的密封塞,以及穿過(guò)密封塞與加熱絲相連的電源線,還包括控制器電源、控制器、報(bào)警器以及用于檢測(cè)加熱管是否破裂的傳感器,所述報(bào)警器、傳感器、控制器電源均與控制器相連。本實(shí)用新型能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)加熱管是否破損,從而及時(shí)將加熱管從化學(xué)藥液池中取出,進(jìn)而保護(hù)化學(xué)藥液和清洗設(shè)備。
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