本實(shí)用新型涉及一種化學(xué)機(jī)械式研磨裝置,用于對(duì)形成有導(dǎo)電性材質(zhì)的研磨層的基板進(jìn)行研磨,包括:研磨墊,其配置于研磨盤的上面,與基板接觸;測(cè)量部,其配置于研磨墊的下部,測(cè)量包含研磨層的厚度信息的信號(hào);溫度測(cè)量部,其測(cè)量研磨層的溫度;厚度檢測(cè)部,將由所述溫度測(cè)量部測(cè)量的所述研磨層的溫度變化導(dǎo)致的測(cè)量誤差反映在所述測(cè)量部測(cè)量的信號(hào)中,從而檢測(cè)所述研磨層的厚度,通過對(duì)溫度變化導(dǎo)致的測(cè)量誤差進(jìn)行補(bǔ)償,可以獲得準(zhǔn)確地檢測(cè)研磨層厚度的效果。
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“化學(xué)機(jī)械式研磨裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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