本發(fā)明提出一種化學(xué)機(jī)械拋光傳輸機(jī)器人系統(tǒng)，包括：執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括機(jī)器人本體和支撐裝置，機(jī)器人本體包括爪、手爪翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、小臂體、大臂體和套筒，支撐裝置包括：直線導(dǎo)軌滑臺(tái)和導(dǎo)軌絲杠；檢測(cè)器用于檢測(cè)執(zhí)行機(jī)構(gòu)的工作狀態(tài)參數(shù)以生成檢測(cè)信息；控制裝置用于控制手爪的運(yùn)動(dòng)位移和運(yùn)動(dòng)角度，包括：上位控制器、主控制器、運(yùn)動(dòng)控制器、伺服驅(qū)動(dòng)器、電機(jī)和編碼器，上位機(jī)控制器用于接收用戶(hù)輸入的操作指令；編碼器用于檢測(cè)相應(yīng)的電機(jī)的狀態(tài)信息；主控制器用于生成執(zhí)行機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)指令，運(yùn)動(dòng)控制器用于按照預(yù)設(shè)控制算法計(jì)算電機(jī)控制量；伺服驅(qū)動(dòng)器用于計(jì)算相應(yīng)電機(jī)的控制轉(zhuǎn)矩；電機(jī)用于在相應(yīng)的控制轉(zhuǎn)矩的控制下驅(qū)動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)。