本實用新型公開了一種晶圓裝載裝置和化學(xué)機械拋光系統(tǒng),所述晶圓裝載裝置包括:底座;托架,位于底座上方并能夠豎向移動以裝載和/或卸載晶圓;檢測單元,設(shè)置于所述托架的外周側(cè),其包括擺動組件和檢測件,所述擺動組件從所述托架的邊緣向托架的中心延伸,所述擺動組件隨著其上是否裝載晶圓處于不同位置,所述檢測件用于檢測擺動組件的位置。
聲明:
“晶圓裝載裝置和化學(xué)機械拋光系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)