本發(fā)明屬于半導(dǎo)體行業(yè)晶片濕法處理領(lǐng)域，具體地說是一種化學(xué)液供給裝置，包括供液桶、補(bǔ)液桶、電磁閥、藥液閥、溢流閥及液位傳感器，其中供液桶與補(bǔ)液桶之間連通的管路上設(shè)有藥液閥，所述藥液閥通過電磁閥與壓縮空氣源相連；所述供液桶及補(bǔ)液桶分別連通一個(gè)供氣源、并通過電磁閥控制供氣，供液桶與補(bǔ)液桶內(nèi)均安裝有檢測(cè)液位的液位傳感器，供液桶連通有控制向外排氣的溢流閥；所述供液桶內(nèi)的化學(xué)液向機(jī)臺(tái)供液，補(bǔ)液桶內(nèi)的化學(xué)液對(duì)供液桶進(jìn)行補(bǔ)給。本發(fā)明利用供液桶和補(bǔ)液桶的方式，并且雙桶采用了不同的壓力差進(jìn)行化學(xué)液的驅(qū)動(dòng)；同時(shí)配合溢流閥的壓力控制，實(shí)現(xiàn)了供液桶在任何時(shí)候都可以保證機(jī)臺(tái)所使用化學(xué)液的無(wú)間斷正常供給，無(wú)需人工干預(yù)。