本發(fā)明提出一種化學(xué)機(jī)械拋光傳輸機(jī)器人晶圓抓取自適應(yīng)控制方法,包括以下步驟:紅外傳感器檢測(cè)工位上的晶圓位置,獲得工位上的晶圓位置值并存儲(chǔ);對(duì)存儲(chǔ)的工位上的晶圓位置進(jìn)行修正補(bǔ)償,獲得第一位置值;將第一位置值與上次的工位上的晶圓位置值進(jìn)行相加,獲得工位上的晶圓位置的準(zhǔn)確值,即第二位置值;紅外傳感器將第二位置值作為輸入值,傳輸給I/O板;I/O板再將輸入值送到主控器,執(zhí)行抓取晶圓,并將輸入值存儲(chǔ)。本方法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)化學(xué)拋光傳輸機(jī)器人的機(jī)械手對(duì)工位上的晶圓抓取的自適應(yīng)能力,且具有高效性,精確性與適用性。本發(fā)明還公開(kāi)了一種化學(xué)機(jī)械拋光傳輸機(jī)器人晶圓抓取自適應(yīng)控制裝置。
聲明:
“化學(xué)機(jī)械拋光傳輸機(jī)器人晶圓抓取自適應(yīng)控制方法及裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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