用于使用高靈敏性、小尺寸且具有低能耗的化學(xué)敏感場效應(yīng)晶體管(CS?FET)設(shè)備的陣列的多種氣體或蒸汽的化學(xué)傳感的系統(tǒng)和方法。傳感器層為形成硅襯底上的源極和漏極之間的過渡金屬氧化物、
稀土金屬氧化物或金屬納米粒子的超薄膜。傳感器層的功函數(shù)可以通過在其表面上的化學(xué)物質(zhì)的吸附來操控。這些變化引起下層硅溝道的表面電位的變化,從而實現(xiàn)設(shè)備的電流調(diào)制。通過選擇適合的傳感器層,不同的化學(xué)物質(zhì)會產(chǎn)生不同的輸出信號。這些信號的外部信號處理的使能以及傳感器和陣列輪廓匹配使得可以進行多氣體檢測。
聲明:
“化學(xué)敏感場效應(yīng)晶體管傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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