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電化學(xué)微流芯片及其制備方法

668   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:58:59
本發(fā)明公開(kāi)了一種電化學(xué)微流芯片,包括設(shè)置在基底上的金屬Cr層,所述金屬Cr層上設(shè)置有金屬Au層,所述金屬Au層上設(shè)置有作為工作電極的金屬Bi層和作為輔助電極的電極Ag或AgCl層,所述基底上設(shè)置有上蓋,上蓋與基底之間的空隙為微流道。本發(fā)明以MEMS微細(xì)加工技術(shù)制備基于電化學(xué)溶出法的便攜式水體離子在線檢測(cè)儀芯片,而只需使用普通紫外光源,借助光刻膠優(yōu)異的高精度結(jié)構(gòu)成型能力,使用普通的掩模版,就可完成電化學(xué)微流芯片單元的制備。本發(fā)明工藝簡(jiǎn)單、成本低,而且易于批量化生產(chǎn)。
聲明:
“電化學(xué)微流芯片及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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