本實(shí)用新型提供一種應(yīng)用于化學(xué)機(jī)械研磨的液體輸送系統(tǒng)和包括液體輸送系統(tǒng)的化學(xué)機(jī)械研磨裝置,其中所述液體輸送系統(tǒng)包括:輸送管;用于控制輸送管通斷的控制開(kāi)關(guān)和分配器,所述分配器位于所述輸送管的其中一個(gè)末端,具有與所述輸送管相通的一個(gè)或多個(gè)噴嘴;以及與所述輸送管相連的流量控制器,用于檢測(cè)并提供研磨溶液的流量信息。相較于現(xiàn)有技術(shù),本實(shí)用新型能夠?qū)斔偷难心ト芤旱牧髁窟M(jìn)行管控,避免出現(xiàn)因流量過(guò)高或過(guò)低而影響待研磨晶片在化學(xué)機(jī)械研磨中的去除率的問(wèn)題,從而制作出符合要求的合格產(chǎn)品,提高產(chǎn)品的良率。
聲明:
“液體輸送系統(tǒng)和化學(xué)機(jī)械研磨裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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