本發(fā)明公開(kāi)了一種設(shè)有泵送管道壓力監(jiān)控裝置的化學(xué)干法蝕刻機(jī)，包含通過(guò)泵送管道依次連接的工藝室、隔離閥、自動(dòng)壓力控制器及干泵；自動(dòng)壓力控制器與干泵之間設(shè)置數(shù)字壓力檢測(cè)器；數(shù)字壓力檢測(cè)器設(shè)置在泵送管道的外側(cè)；數(shù)字壓力檢測(cè)器用于檢測(cè)泵送管道壓力改變。泵送管道外側(cè)均布多個(gè)O型圈。本發(fā)明能夠監(jiān)控泵送管道的壓力改變，實(shí)時(shí)消除泵送管道前級(jí)APC組件和隔離閥的故障，防止泵送管道泄露。