本發(fā)明提供了一種陽(yáng)極膜修復(fù)方法、陽(yáng)極結(jié)構(gòu)及化學(xué)氣相沉淀設(shè)備。該陽(yáng)極膜修復(fù)方法，包括以下步驟：S1、標(biāo)記出陽(yáng)極膜上產(chǎn)生電弧的待修補(bǔ)區(qū)域；S2、對(duì)所述待修補(bǔ)區(qū)域進(jìn)行清洗；S3、對(duì)清洗后的所述待修補(bǔ)區(qū)域涂布后補(bǔ)保護(hù)膜層以形成優(yōu)化區(qū)域；S4、對(duì)所述優(yōu)化區(qū)域進(jìn)行表面處理，以使得該優(yōu)化區(qū)域平整；S5、對(duì)表面處理后的優(yōu)化區(qū)域進(jìn)行阻抗檢測(cè)；S6、若阻抗檢測(cè)不通過(guò)，則轉(zhuǎn)至步驟S3；S7、若阻抗檢測(cè)通過(guò)，則修復(fù)結(jié)束。本發(fā)明通過(guò)采用后補(bǔ)保護(hù)膜層涂布到電弧產(chǎn)生的區(qū)域可以對(duì)陽(yáng)極結(jié)構(gòu)進(jìn)行修復(fù)，并且可以降低成本。