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具有抽真空去除管路殘余氣體功能的化學吸附儀

700 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 06:59:01

一種具有抽真空去除管路殘余氣體功能的化學吸附儀，第一氣源通過管路與第一截止閥的入口連接，第二氣源通過管路與第二截止閥的入口連接，第一截止閥和第二截止閥的出口通過管路與流量控制器的入口連接，所述流量控制器出口通過管路與U形樣品管入口連接，U形樣品管的出口通過管路與檢測器的入口連接，所述檢測器的入口通過管路與所述兩位三通閥的入口連接，所述兩位三通閥的兩個出口分別連接真空泵和排氣管。通過所述真空泵給整個氣路系統(tǒng)抽真空可以消除管路死體積中殘余氣體對測試的影響；同時，通過加熱抽真空的方式對樣品進行活化預處理，可提升活化效率，使樣品表面潔凈程度更高。

聲明：

“具有抽真空去除管路殘余氣體功能的化學吸附儀” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)