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基于氨氣的化學氣相沉積設備

771 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 06:59:02

本實用新型涉及氨氣化學氣相沉積技術領域，且公開了一種基于氨氣的化學氣相沉積設備，包括反應箱，所述反應箱側邊固定連接有控制器，所述控制器頂部固定連接有智能閥，所述智能閥側邊固定連接有輸氣管，所述智能閥側邊固定連接有輸氣計量儀，所述輸氣計量儀與反應箱和控制器相連接，所述控制器側邊固定連接有信號接收器，所述控制器底部固定連接有加熱器，所述加熱器與反應箱相連接，所述反應箱表面固定連接有氣體檢測儀。該基于氨氣的化學氣相沉積設備，通過反應箱、控制器、智能閥、輸氣管、輸氣計量儀、信號接收器和加熱器等部分的連接和作用，達到遠程操作打破空間限制，不直接接觸保障安全，簡單操作數(shù)值可控的效果。

聲明：

“基于氨氣的化學氣相沉積設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)