本實(shí)用新型公開了一種新型化學(xué)氣相沉積爐爐蓋,包括爐蓋本體,所述爐蓋本體上固定安裝有爐蓋本體上法蘭,所述爐蓋本體上開設(shè)有爐蓋本體快冷抽氣口,所述爐蓋本體兩端均安裝有爐蓋本體加強(qiáng)筋,所述爐蓋本體加強(qiáng)筋底端安裝有爐蓋本體大法蘭,所述爐蓋本體內(nèi)安裝有爐蓋本體安裝板,所述爐蓋本體安裝板底端開設(shè)有爐蓋本體中心排氣管,本實(shí)用新型的爐蓋本體設(shè)有熱電偶檢測口,通過熱電偶檢測口可實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的溫度檢測,本實(shí)用新型實(shí)施例的沉積爐爐蓋在傳統(tǒng)氣相沉積爐結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上,將爐蓋和快冷抽氣環(huán)做了集成,減少了制作成本,本實(shí)用新型實(shí)施例的氣相沉積爐爐蓋與傳統(tǒng)氣相沉積爐爐蓋相比鋼材用量減少30%,降低材料成本的同時(shí),減輕了爐蓋重量。
聲明:
“新型化學(xué)氣相沉積爐爐蓋” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)