本發(fā)明公開了具有金屬熔體蒸發(fā)量自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，包括反應(yīng)爐以及導(dǎo)通連接于反應(yīng)爐上部的真空泵構(gòu)件；反應(yīng)爐內(nèi)包括底部的坩堝件，坩堝件的上部配置有反應(yīng)室，坩堝件開設(shè)有金屬蒸汽通孔；還包括用于引入反應(yīng)氣體的氣體噴嘴，氣體噴嘴沿反應(yīng)爐的外部深入至反應(yīng)室，坩堝件配置有加熱組件，加熱組件用于加熱坩堝件內(nèi)的溫度，坩堝件還配置有檢測(cè)組件和控制柜；控制柜根據(jù)檢測(cè)組件的信號(hào)控制加熱組件作業(yè)。本發(fā)明通過解決蒸發(fā)量精確控制的問題，自動(dòng)進(jìn)行實(shí)時(shí)精確控制，從而獲得期望的高質(zhì)量產(chǎn)品，并且實(shí)現(xiàn)控制反應(yīng)氣體損失最小化的目的，同時(shí)，附帶地減少了尾氣處理裝置的負(fù)荷，具有較好的實(shí)用意義。