本實用新型公開了一種可自動調(diào)節(jié)金屬熔體蒸發(fā)量的化學(xué)氣相沉積設(shè)備,包括反應(yīng)爐以及導(dǎo)通連接于反應(yīng)爐上部的
真空泵構(gòu)件;反應(yīng)爐內(nèi)包括底部的坩堝件,坩堝件的上部配置有反應(yīng)室,坩堝件開設(shè)有金屬蒸汽通孔;還包括用于引入反應(yīng)氣體的氣體噴嘴,氣體噴嘴沿反應(yīng)爐的外部深入至反應(yīng)室,坩堝件配置有加熱組件,加熱組件用于加熱坩堝件內(nèi)的溫度,坩堝件還配置有檢測組件和控制柜;控制柜根據(jù)檢測組件的信號控制加熱組件作業(yè)。本實用新型通過解決蒸發(fā)量精確控制的問題,自動進(jìn)行實時精確控制,從而獲得期望的高質(zhì)量產(chǎn)品,并且實現(xiàn)控制反應(yīng)氣體損失最小化的目的,同時,附帶地減少了尾氣處理裝置的負(fù)荷,具有較好的實用意義。
聲明:
“可自動調(diào)節(jié)金屬熔體蒸發(fā)量的化學(xué)氣相沉積設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)