6替代氣體分解產(chǎn)物的亞微米薄膜傳感器,化學(xué)分析"> 6替代氣體分解產(chǎn)物的亞微米薄膜傳感器,本發(fā)明公開(kāi)了一種用于檢測(cè)SF6替代氣體分解產(chǎn)物的亞微米薄膜傳感器,包括傳感器基底,傳感器基底上表面為電流感應(yīng)薄膜,用于輸出傳感器響應(yīng)電流,傳感器基底下表面為粘合材料層,用于固定傳感器基底,電流感應(yīng)薄膜上設(shè)置有氣敏探針陣列,氣敏探針陣列外部涂覆有無(wú)定型氟聚合物層,其中,傳感器基底采用聚四氟乙烯或者液態(tài)硅膠材料制成,電流感應(yīng)薄膜采用金屬材料制成,通過(guò)屏蔽電纜輸出響應(yīng)電流,粘合材料層為低滲透性的聚丙烯薄膜,氣敏探針陣列材料為對(duì)氟原子敏感的葉綠素,氣敏探針陣列利用">

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用于檢測(cè)SF6替代氣體分解產(chǎn)物的亞微米薄膜傳感器

693   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:00:45
本發(fā)明公開(kāi)了一種用于檢測(cè)SF6替代氣體分解產(chǎn)物的亞微米薄膜傳感器,包括傳感器基底,傳感器基底上表面為電流感應(yīng)薄膜,用于輸出傳感器響應(yīng)電流,傳感器基底下表面為粘合材料層,用于固定傳感器基底,電流感應(yīng)薄膜上設(shè)置有氣敏探針陣列,氣敏探針陣列外部涂覆有無(wú)定型氟聚合物層,其中,傳感器基底采用聚四氟乙烯或者液態(tài)硅膠材料制成,電流感應(yīng)薄膜采用金屬材料制成,通過(guò)屏蔽電纜輸出響應(yīng)電流,粘合材料層為低滲透性的聚丙烯薄膜,氣敏探針陣列材料為對(duì)氟原子敏感的葉綠素,氣敏探針陣列利用等離子體化學(xué)氣相沉積法制備而成,本發(fā)明解決了現(xiàn)有技術(shù)中缺乏能夠精確檢測(cè)環(huán)境友好型SF6替代氣體分解組分的設(shè)備的問(wèn)題。
聲明:
“用于檢測(cè)SF6替代氣體分解產(chǎn)物的亞微米薄膜傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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