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基于MEMS的電化學(xué)氣體傳感器及其制備方法

1034   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:00:45
本發(fā)明屬于氣體傳感器技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種基于MEMS的電化學(xué)氣體傳感器及其制備方法。本發(fā)明采用硅片作為基底材料,根據(jù)待測氣體種類在硅片上濺射相應(yīng)的金屬作為對電極和參比電極。在玻璃片上濺射一層金屬用作工作電極,然后利用干法刻蝕的方法在玻璃上刻蝕出進(jìn)電解液口、出電解液口和進(jìn)氣口陣列,進(jìn)氣口采用陣列的方法不但能夠提高氣體傳感器的靈敏度還能夠使傳感器具有更低的檢測下限。而且本發(fā)明所使用的工藝成熟、制得的器件體積小、集成度高、可兼容傳統(tǒng)IC生產(chǎn)工藝、適用于大批量生產(chǎn),可根據(jù)待測氣體種類來選擇電極的敏感材料,從而實(shí)現(xiàn)多種氣體傳感器的定制,因此具有廣泛的應(yīng)用價(jià)值。
聲明:
“基于MEMS的電化學(xué)氣體傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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