本文中提供一種用于化學(xué)機(jī)械拋光承載頭的保持環(huán),具有用于基板的固定表面。在一些實(shí)施方式中,該保持環(huán)可以包括具有中央開口的環(huán)形主體、被形成在該主體中的通道,其中該通道的第一端鄰近該中央開口;以及被設(shè)置在該通道內(nèi)并鄰近該第一端的傳感器,其中該傳感器配置為檢測(cè)來(lái)自在該基板上進(jìn)行的工藝的聲波及/或振動(dòng)發(fā)射。
聲明:
“具有集成傳感器的化學(xué)機(jī)械拋光保持環(huán)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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