本發(fā)明公開了一種在CMOS標準工藝下的生物化學傳感器,包括底座、離子敏感場效應(yīng)晶體管、金屬層、接觸層、電極;離子敏感場效應(yīng)晶體管設(shè)置在底座上;晶體管包括在CMOS
多晶硅層形成的多晶硅溝道,多晶硅溝道兩端分別連接源極和漏極,源極和漏極再通過接觸層與金屬層連接;多晶硅溝道的多晶硅溝道區(qū)域暴露出來接觸電解質(zhì)溶液;電極接觸電解質(zhì)溶液,為多晶硅溝道提供柵極電壓。本發(fā)明的多晶硅傳感器具有很高的靈敏度,采用CMOS工藝大幅提高傳感器的重復性,降低了器件誤差,降低生產(chǎn)成本。本發(fā)明的微型傳感器很適合環(huán)境物聯(lián)網(wǎng),農(nóng)業(yè)物聯(lián)網(wǎng),及生物檢測等廣泛應(yīng)用。
聲明:
“在CMOS標準工藝下的生物化學傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)