本發(fā)明提供一種延長一化學(xué)機(jī)械拋光墊修整器的使用壽命的方法,包括利用所述的修整器修整所述的化學(xué)機(jī)械拋光墊;憑借測量所述的拋光墊、修整器或其組合的機(jī)械性質(zhì)而測定超研磨顆粒的磨損;憑借改變所述的拋光墊和修整器之間與超研磨顆粒的磨損有關(guān)的壓力和機(jī)體轉(zhuǎn)速而適應(yīng)該機(jī)械性質(zhì)測量值,以延長修整器壽命。另外,一方法可包括以所述的修整器修整所述的化學(xué)機(jī)械拋光墊;以一實(shí)質(zhì)上平行于所述的拋光墊的工作表面的方向振動(dòng)選自于拋光墊、修整器、晶圓或其組合的元件;以及當(dāng)修整器在使用時(shí)以非線性的方式隨著時(shí)間改變所述的拋光墊和修整器之間的壓力和/或機(jī)體轉(zhuǎn)速,以延長修整器壽命,其中當(dāng)化學(xué)機(jī)械拋光墊表面出現(xiàn)磨損,所述的壓力和RPM是增加的。
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