本發(fā)明提供一種易揮發(fā)液態(tài)化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)及供應(yīng)方法，系統(tǒng)包括：供應(yīng)槽；化學(xué)品輸入管路，用于向供應(yīng)槽輸入化學(xué)品，其設(shè)有開(kāi)關(guān)控制閥；液位偵測(cè)器，用于在偵測(cè)到化學(xué)品液位超過(guò)預(yù)設(shè)液位時(shí)，發(fā)送液位控制信號(hào)至開(kāi)關(guān)控制閥以切斷化學(xué)品輸入管路的輸入；重量偵測(cè)器，用于在偵測(cè)到化學(xué)品的重量超過(guò)預(yù)設(shè)重量值時(shí)，發(fā)送重量控制信號(hào)至開(kāi)關(guān)控制閥以切斷化學(xué)品輸入管路的輸入；供應(yīng)管路，用于將化學(xué)品供應(yīng)至機(jī)臺(tái)。本發(fā)明的易揮發(fā)液態(tài)化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)具有雙重安全保障，只要液位偵測(cè)器和重量偵測(cè)器的其中一路控制信號(hào)正常，即可保證化學(xué)品及時(shí)切斷供應(yīng)，極大的降低了安全風(fēng)險(xiǎn)。本發(fā)明的重量偵測(cè)器校正方便、更換簡(jiǎn)單，可大大縮短機(jī)臺(tái)停用時(shí)間。