根據(jù)本發(fā)明的識別化學機械研磨設備的研磨性能的方法包括:為研磨墊提供U型細磨墊;使修整部件僅僅沿固定修整方向在所述U型細磨墊上進行修整;測試U型緩沖墊的彎曲部分的抗彎強度;以及根據(jù)U型緩沖墊的彎曲部分的抗彎強度判斷化學機械研磨設備的研磨性能。所述測試U型緩沖墊的彎曲部分的抗彎強度的步驟包括:在所述U型細磨墊的彎曲部分上放置測量重塊,該測量重塊W的重量已知;測量所述U型細磨墊的彎曲部分的長度、以及所述U型細磨墊由于所述測量重塊的重量而下壓的深度;以及根據(jù)所述長度以及所述深度計算U型緩沖墊的彎曲部分的抗彎強度。
聲明:
“識別化學機械研磨設備的研磨性能的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)