一種化學(xué)液體稀釋控制系統(tǒng)包括流體供應(yīng)裝置用以提供流體，且對(duì)于流體施加第一壓力；溶劑供應(yīng)裝置用以提供溶劑；混合裝置連接且連通于流體供應(yīng)裝置及溶劑供應(yīng)裝置，使流體與溶劑于混合裝置內(nèi)混合成為稀釋的化學(xué)液體；第一輸送管路連接且連通于混合裝置，用以輸送化學(xué)液體；第一參數(shù)測(cè)量單元設(shè)置于第一輸送管路上，且用以測(cè)量化學(xué)液體的參數(shù)。當(dāng)化學(xué)液體的參數(shù)數(shù)值未介于化學(xué)液體的預(yù)設(shè)參數(shù)范圍內(nèi)時(shí)，第一參數(shù)測(cè)量單元發(fā)出第一控制信號(hào)至流體供應(yīng)裝置，對(duì)于流體施加不同于第一壓力的第二壓力，以使化學(xué)液體的參數(shù)數(shù)值往預(yù)設(shè)參數(shù)范圍變動(dòng)，藉以調(diào)控參數(shù)數(shù)值位于預(yù)設(shè)參數(shù)范圍。