一種電解液中化學(xué)濃度的控制方法及半導(dǎo)體設(shè)備。控制電解液中化學(xué)濃度的方法包括量測(cè)電解液中的化學(xué)濃度,其中此電解液容置在槽中;及當(dāng)量測(cè)到的化學(xué)濃度低于控制下限值時(shí),增大通過連接至槽的排氣管的蒸汽通量。
聲明:
“電解液中化學(xué)濃度的控制方法及半導(dǎo)體設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)