本發(fā)明提供一種電化學(xué)淀積結(jié)果確定方法，將設(shè)計(jì)有溝槽的晶圓介質(zhì)表面進(jìn)行版圖網(wǎng)格劃分，根據(jù)測量獲得所述網(wǎng)格內(nèi)所有圖形的特征參數(shù)，確定所述網(wǎng)格版圖特征，根據(jù)當(dāng)前計(jì)算網(wǎng)格及周圍網(wǎng)格的版圖特征，對(duì)網(wǎng)格版圖電化學(xué)淀積最終形貌所屬填充類型進(jìn)行判定，根據(jù)電化學(xué)淀積金屬工藝參數(shù)和所述網(wǎng)格版圖所屬類型，確定與版圖特征相關(guān)的修正因子，計(jì)算網(wǎng)格內(nèi)金屬淀積量V、非溝槽區(qū)域介質(zhì)表面金屬厚度H和圖形中溝槽區(qū)域溝槽與非溝槽區(qū)域金屬表面高度差S，確定網(wǎng)格內(nèi)金屬的電化學(xué)淀積結(jié)果。本發(fā)明的方法通過引入與版圖特征相關(guān)的修正因子，能夠比較準(zhǔn)確地預(yù)測電化學(xué)淀積后晶圓表面的淀積結(jié)果。