本發(fā)明涉及一種用于化學(xué)氣相沉積裝置的防跳電結(jié)構(gòu)，所述化學(xué)氣相沉積裝置包括控制單元與通過RF接地導(dǎo)線接地的加熱部件，所述加熱部件與交流回路相連，所述控制單元具有內(nèi)連鎖回路，所述交流回路上配置有熱感應(yīng)器，該熱感應(yīng)器還與所述內(nèi)連鎖回路相連，RF信號在所述RF接地導(dǎo)線斷路后進(jìn)入所述交流回路并引起所述交流回路的溫度變化，所述熱感應(yīng)器根據(jù)該溫度變化控制所述內(nèi)聯(lián)鎖回路的通斷。本發(fā)明采用熱感應(yīng)器來感應(yīng)RF接地導(dǎo)線異常時交流回路導(dǎo)線產(chǎn)生的熱信號，并通過內(nèi)聯(lián)鎖回路控制化學(xué)氣相沉積裝置，結(jié)構(gòu)簡單，可以及時發(fā)現(xiàn)RF接地導(dǎo)線故障；采用本發(fā)明可以簡化化學(xué)氣相沉積裝置的保養(yǎng)檢修流程，降低生產(chǎn)成本，提高保養(yǎng)效率。