本發(fā)明公開(kāi)一種化學(xué)藥品供給裝置,包括:用于灌入藥液的容器罐;緩沖器,其下部設(shè)有用于接收所述容器罐內(nèi)的藥液后向半導(dǎo)體裝備輸送的排出閥,在上部形成用于向外部排出包含于所述藥液里的氣泡的氣泡排氣閥;殘量測(cè)定裝置,以用于測(cè)定所述容器罐內(nèi)藥液的殘量;及體積可變裝置,以用于當(dāng)利用所述殘量測(cè)定裝置進(jìn)行的測(cè)定結(jié)果為容器罐內(nèi)的藥液殘量在基準(zhǔn)值以下時(shí),使緩沖器內(nèi)藥液的收容空間收縮及膨脹,從而吸入容器罐內(nèi)的藥液。并且,如果測(cè)定的容器罐內(nèi)藥液的殘量在基準(zhǔn)值以下,則從緩沖器側(cè)形成低速真空吸入動(dòng)作,因此可降低容器罐內(nèi)的藥液的殘量而節(jié)省材料費(fèi)用。
聲明:
“化學(xué)藥品供給裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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