本發(fā)明提供一種金屬有機化學(xué)汽相淀積設(shè)備及其溫度控制方法。該設(shè)備包括:腔室;安裝在腔室內(nèi)側(cè)并能旋轉(zhuǎn)的襯托器,其中,將至少一個襯底設(shè)置于襯托器上;加熱襯托器的多個加熱器,其溫度被獨立控制;氣體噴射器,位于襯托器上部且朝向襯托器噴射III族氣體和V族氣體;多個溫度探測傳感器,其位于襯托器的上部,并測量通過各加熱器加熱的加熱區(qū)的溫度;和控制器,其存儲加熱區(qū)所需的溫度設(shè)定值,并通過將由各溫度探測傳感器探測到的探測溫度值與加熱區(qū)所需的設(shè)定值相比較來控制加熱區(qū)的溫度。通過有效地調(diào)節(jié)金屬有機化學(xué)汽相淀積設(shè)備中的每一外延工藝所必需的溫度條件,可以在整個工藝期間均勻地向整個襯底實施溫度傾斜,其通過將溫度從室溫上升至1200℃來執(zhí)行工藝。因此提高了工藝效率和淀積均勻度。
聲明:
“金屬有機化學(xué)汽相淀積設(shè)備及其溫度控制方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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