本發(fā)明的實施例提供了一種電鍍化學(xué)品監(jiān)控方法、系統(tǒng)和裝置，涉及半導(dǎo)體化學(xué)品監(jiān)控技術(shù)領(lǐng)域。通過濃度監(jiān)控裝置和液位探測裝置實時監(jiān)控電鍍化學(xué)品的濃度數(shù)據(jù)以及剩余量，使得處理裝置可基于監(jiān)控得到的濃度數(shù)據(jù)以及剩余量計算得到電鍍化學(xué)品的目標(biāo)添加量，并控制調(diào)節(jié)裝置將儲液槽中的原液添加至電鍍化學(xué)品中，且通過流量監(jiān)控裝置監(jiān)控儲液槽中的原液的添加量，并在原液添加量達(dá)到目標(biāo)添加量時，發(fā)送信號至處理裝置，以使處理裝置根據(jù)信號控制調(diào)節(jié)裝置停止將儲液槽中的原液添加至電鍍化學(xué)品中，如此，便可實時監(jiān)控電鍍化學(xué)品的濃度數(shù)據(jù)，并根據(jù)電鍍化學(xué)品的濃度變化自動進(jìn)行添加，效率高，且準(zhǔn)確度高。