本發(fā)明提供一種在金屬栓塞的化學(xué)機(jī)械研磨中的制程動(dòng)態(tài)優(yōu)化方法及系統(tǒng)，金屬栓塞形成于目標(biāo)材料層中，包括如下步驟：1）設(shè)定目標(biāo)去除厚度與研磨參數(shù)在閉回路控制系統(tǒng)中；2）利用研磨參數(shù)，執(zhí)行第一化學(xué)機(jī)械研磨步驟，以降低目標(biāo)材料層的厚度達(dá)到在第一實(shí)際去除厚度的去除；3）測(cè)量第一化學(xué)機(jī)械研磨步驟中目標(biāo)材料層被去除的第一實(shí)際去除厚度；4）依據(jù)目標(biāo)去除厚度和第一實(shí)際去除厚度的差異，轉(zhuǎn)換厚度差異成對(duì)應(yīng)的研磨參數(shù)差值，以動(dòng)態(tài)更新研磨參數(shù)；5）利用更新后的研磨參數(shù)，執(zhí)行第二化學(xué)機(jī)械研磨步驟，以降低目標(biāo)材料層的厚度達(dá)到在第二實(shí)際去除厚度的去除，藉此動(dòng)態(tài)優(yōu)化研磨參數(shù)。本發(fā)明可以精確控制研磨過(guò)程中去除的目標(biāo)材料層的厚度。