本發(fā)明提供一種化學(xué)機(jī)械拋光的優(yōu)化方法,該方法根據(jù)第n片圖形片的動(dòng)態(tài)權(quán)重因子、實(shí)際去除量、預(yù)測拋光速率、拋光時(shí)間以及預(yù)測補(bǔ)償值預(yù)測第n+1片圖形片的預(yù)算補(bǔ)償值以及拋光時(shí)間,并根據(jù)預(yù)測得到的預(yù)算補(bǔ)償值以及拋光時(shí)間對第n+1片圖形片進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光。其中,第n片圖形片的動(dòng)態(tài)權(quán)重因子與拋光所用耗材的壽命周期影響因素有關(guān),使得該方法可以在線優(yōu)化由于拋光耗材不同壽命周期下的拋光速率差異導(dǎo)致的拋光時(shí)間算法誤差,有效提高了拋光時(shí)間算法的精度。
聲明:
“化學(xué)機(jī)械拋光的優(yōu)化方法及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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