一種開放式、陣列化、集成化的
電化學(xué)氣體傳感器及其制造方法,涉及一種電化學(xué)氣體傳感器,為了解決電化學(xué)氣體傳感器的靈敏度低、選擇性差、難以形成陣列化和集成化的問題。本發(fā)明的傳感器包括上電極層、電解池層、下電極層和引出層,依次對位疊層,上電極層的催化電極半封閉式覆蓋第一電解池通孔,電解池層的基片上設(shè)有第二電解池通孔;第一電解池通孔和第二電解池通孔相通,形成電解池腔,下電極層的基片上設(shè)有對電極;對電極位于電解池腔正下方,引出層的基片上設(shè)有多個引出端。本發(fā)明的傳感器適用于同時探測多種目標氣體濃度。
聲明:
“開放式、陣列化、集成化的電化學(xué)氣體傳感器及其制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)