本發(fā)明公開(kāi)了微型軸承核心元件超精密柔性化學(xué)機(jī)械拋光裝置及方法。核心元件包括內(nèi)套圈、保持架、滾動(dòng)體、外套圈。拋光裝置包括元件自轉(zhuǎn)模塊、外套圈轉(zhuǎn)向模塊、元件夾持模塊、拋光液池旋轉(zhuǎn)模塊、支架。其中，元件夾持模塊針對(duì)性提供內(nèi)套圈夾具、保持架夾具、滾動(dòng)體夾具、外套圈夾具。拋光方法包括安裝調(diào)試拋光裝置、配制柔性化學(xué)機(jī)械拋光液、設(shè)置拋光工藝參數(shù)、測(cè)量表面質(zhì)量并反饋。柔性化學(xué)機(jī)械拋光液包括非牛頓流體、0.01?40wt％的研磨顆粒、0?10wt％的氧化劑、0?10wt％的金屬絡(luò)合劑、0?5wt％的金屬緩蝕劑、以及余量的水，pH值2.0?10.0。本發(fā)明通過(guò)優(yōu)化化學(xué)反應(yīng)和力流變效應(yīng)機(jī)械力的協(xié)同作用，能夠?qū)崿F(xiàn)核心元件表面超精密低損傷加工以及復(fù)雜曲面保形加工，且綠色環(huán)保。