本實(shí)用新型涉及一種在線式化學(xué)氣相沉積爐的對(duì)地絕緣判定系統(tǒng)。目前常見(jiàn)的化學(xué)氣相沉積爐加熱室反碳程度判定方法，在加熱室與馬弗罐內(nèi)分別設(shè)置壓力傳感器，根據(jù)內(nèi)外壓差和真空度，提示并判斷反碳程度是否超標(biāo)，往往不能真實(shí)反映加熱室內(nèi)反碳情況。本實(shí)用新型的判定系統(tǒng)將爐內(nèi)每一個(gè)加熱區(qū)的電阻帶及爐襯分別串聯(lián)一個(gè)多路轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)后并聯(lián)，再與電量變送器、變流電阻、單相降壓變壓器電源和爐殼串聯(lián)成閉環(huán)測(cè)試電路系統(tǒng)；電量變送器接入智能數(shù)字儀表和報(bào)警提示系統(tǒng)。本實(shí)用新型通過(guò)測(cè)試某區(qū)變流電阻電流信號(hào)，在線通過(guò)程序控制使調(diào)功器間隔固定時(shí)間段呈高阻狀態(tài)，對(duì)應(yīng)計(jì)算出該時(shí)段對(duì)地絕緣電阻數(shù)值，間接反映爐內(nèi)加熱室反碳程度，可靠性強(qiáng)。