本發(fā)明公開了一種掃描
電化學(xué)顯微鏡,包括:三維滾珠絲杠掃描器、三維壓電掃描器、導(dǎo)電探針、導(dǎo)電基底、工作平臺(tái)和微控單元,所述三維滾珠絲杠掃描器包括X調(diào)節(jié)軸、Y調(diào)節(jié)軸和Z調(diào)節(jié)軸;X調(diào)節(jié)軸、Y調(diào)節(jié)軸和Z調(diào)節(jié)軸兩兩相互垂直設(shè)置,所述X調(diào)節(jié)軸設(shè)置在工作平臺(tái)上,所述三維壓電掃描器設(shè)置在Z調(diào)節(jié)軸的上,本方案的掃描電化學(xué)顯微鏡內(nèi)部集成穩(wěn)定性較高的滾珠絲杠掃描器、壓電掃描器、導(dǎo)電探針、導(dǎo)電基底和微控單元,通過滾珠絲杠掃描器對(duì)壓電掃描器的掃描范圍和線性度進(jìn)行校正,避免了使用精密距離測(cè)試儀器或標(biāo)準(zhǔn)樣品,具有操作簡便和成本較低的優(yōu)勢(shì)。
聲明:
“掃描電化學(xué)顯微鏡及其校正方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)