本發(fā)明屬于光學(xué)波面面形檢測領(lǐng)域中實時檢測非球面面形的一種全息干涉裝置,由平面鏡17,分束器3、光源1、擴束器2、分束器3、參考平面鏡4、零位補償器5,計算全息圖6、成象透鏡7、空間濾波器8、面陣探測器9、偏振分束器10、成象系統(tǒng)11、顯示器12、計算機13、起偏鏡15和16、面陣探測器18構(gòu)成。本發(fā)明要解決的問題是可分別用于粗加工和精加工階段的檢測。避免繁瑣的化學(xué)顯影處理及由此產(chǎn)生的隨機檢測誤差。本發(fā)明功能齊全、檢測量程大、使用范圍廣、使用簡便、制造容易、檢測精度高、干涉圖易于分析和處理等優(yōu)點。
聲明:
“實時檢測非球面的全息干涉裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)