一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的尾氣處理裝置,該尾氣處理裝置包括:進(jìn)氣單元,其輸入待處理的廢氣;吸收單元,其上設(shè)有排氣口且與所述進(jìn)氣單元連接,所述吸收單元內(nèi)設(shè)有用于吸收所述待處理的尾氣的吸收液;監(jiān)測單元,用于監(jiān)測所述吸收單元中吸收液的參數(shù)并輸出到監(jiān)測單元中,所示參數(shù)包括pH值、ORP值和/或溫度;以及控制單元,基于所述監(jiān)測單元輸出的包含參數(shù)值的信號來控制所述尾氣處理裝置中的伺服部件,從而調(diào)節(jié)所述吸收液的對應(yīng)參數(shù)。本實(shí)用新型裝置處理能力大大提升,最多可同時滿足十?dāng)?shù)臺MOCVD設(shè)備的尾氣處理。負(fù)壓采用文丘里及風(fēng)機(jī)同時控制,負(fù)壓范圍廣、精確度高。
聲明:
“金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的尾氣處理裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)