一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的尾氣處理裝置及應(yīng)用，該尾氣處理裝置包括：進(jìn)氣單元，其輸入待處理的廢氣；吸收單元，其上設(shè)有排氣口且與所述進(jìn)氣單元連接，所述吸收單元內(nèi)設(shè)有用于吸收所述待處理的尾氣的吸收液；監(jiān)測(cè)單元，用于監(jiān)測(cè)所述吸收單元中吸收液的參數(shù)并輸出到監(jiān)測(cè)單元中，所示參數(shù)包括pH值、ORP值和/或溫度；以及控制單元，基于所述監(jiān)測(cè)單元輸出的包含參數(shù)值的信號(hào)來(lái)控制所述尾氣處理裝置中的伺服部件，從而調(diào)節(jié)所述吸收液的對(duì)應(yīng)參數(shù)。本發(fā)明裝置處理能力大大提升，最多可同時(shí)滿足十?dāng)?shù)臺(tái)MOCVD設(shè)備的尾氣處理。負(fù)壓采用文丘里及風(fēng)機(jī)同時(shí)控制，負(fù)壓范圍廣、精確度高。