本實用新型涉及金剛石膜生長領(lǐng)域,尤其涉及一種在工件內(nèi)孔沉積金剛石薄膜的熱絲化學(xué)氣相沉積裝置。該裝置設(shè)有密閉的反應(yīng)腔體,反應(yīng)腔體的一端設(shè)有氣體噴淋頭,氣體噴淋頭通過管路與外部氣源連接,反應(yīng)腔體的另一端設(shè)有抽真空系統(tǒng)和真空測控系統(tǒng);反應(yīng)腔體內(nèi)部設(shè)有中空的水冷樣品臺,水冷樣品臺的中空部分向內(nèi)依次設(shè)有絕緣層、導(dǎo)電層、工件、熱絲。本實用新型可以實現(xiàn)在工件內(nèi)孔快速、均勻沉積金剛石薄膜,減少反應(yīng)氣體的消耗,沉積過程中能測控?zé)峤z的溫度、工件表面的溫度和反應(yīng)腔內(nèi)的壓強,能準確控制金剛石薄膜沉積各項主要工藝參數(shù),工藝重復(fù)性好。
聲明:
“在工件內(nèi)孔沉積金剛石薄膜的熱絲化學(xué)氣相沉積裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)