本發(fā)明描述了一種方法，該方法包括生成模擬動(dòng)態(tài)過(guò)程、特定過(guò)程步驟或其變體的一組合成樣品，所述動(dòng)態(tài)過(guò)程、特定過(guò)程步驟或其變體將被用于開(kāi)發(fā)多元監(jiān)測(cè)校正和過(guò)程監(jiān)督控制系統(tǒng)。還描述了為了增強(qiáng)校正模型的準(zhǔn)確性和穩(wěn)健性，引入隨機(jī)峰值形成的、規(guī)劃峰值形成的、隨機(jī)混合并且正交設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)的樣品。該新方法通過(guò)如下操作起作用：使用由動(dòng)態(tài)過(guò)程的可用數(shù)據(jù)和質(zhì)量控制數(shù)據(jù)所表達(dá)的動(dòng)態(tài)過(guò)程的現(xiàn)有知識(shí)，以及使用這些數(shù)據(jù)來(lái)構(gòu)建混合物分布曲線，所述分布曲線能夠用于構(gòu)建模擬過(guò)程動(dòng)態(tài)的合成樣品?？梢蕴峁┮环N克服了現(xiàn)有技術(shù)的校正開(kāi)發(fā)缺陷的新穎方法，該方法包括設(shè)計(jì)的模擬動(dòng)態(tài)過(guò)程的合成多成分樣品，以及使用正交設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)或隨機(jī)峰值形成或規(guī)劃峰值形成或隨機(jī)混合來(lái)增強(qiáng)校正模型性能。使用準(zhǔn)確地接近真實(shí)樣品的基質(zhì)主要成分組成的這些多成分合成樣品，我們已經(jīng)證明了PAT監(jiān)測(cè)工具在估計(jì)動(dòng)態(tài)過(guò)程狀態(tài)(過(guò)程監(jiān)督)方面的新用途。使用制備成跨過(guò)過(guò)程的多元設(shè)計(jì)空間的合成樣品的多參數(shù)分析得到多元過(guò)程軌跡，這個(gè)能力允許在過(guò)程開(kāi)發(fā)和優(yōu)化期間建立過(guò)程監(jiān)督控制策略。